செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் செயல்முறையின் ஆராய்ச்சி மற்றும் பகுப்பாய்வு

செமிகண்டக்டர் செயல்முறையின் கண்ணோட்டம்
செமிகண்டக்டர் செயல்முறையானது, அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் சட்டங்கள் போன்ற பல்வேறு பகுதிகளில் உள்ள சிப்கள் மற்றும் பிற கூறுகளை முழுமையாக இணைக்க மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் மற்றும் ஃபிலிம் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துவதை உள்ளடக்குகிறது. இது லீட் டெர்மினல்களை பிரித்தெடுப்பதற்கும், பிளாஸ்டிக் இன்சுலேடிங் மீடியம் மூலம் இணைக்கப்படுவதற்கும் உதவுகிறது, இது ஒரு ஒருங்கிணைந்த முழுமையை உருவாக்குகிறது, இது முப்பரிமாண அமைப்பாக வழங்கப்படுகிறது, இறுதியில் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறையை நிறைவு செய்கிறது. குறைக்கடத்தி செயல்முறையின் கருத்து, குறைக்கடத்தி சிப் பேக்கேஜிங்கின் குறுகிய வரையறைக்கும் பொருந்தும். ஒரு பரந்த கண்ணோட்டத்தில், இது பேக்கேஜிங் பொறியியலைக் குறிக்கிறது, இதில் அடி மூலக்கூறுடன் இணைத்தல் மற்றும் சரிசெய்தல், தொடர்புடைய மின்னணு உபகரணங்களை உள்ளமைத்தல் மற்றும் வலுவான விரிவான செயல்திறனுடன் முழுமையான அமைப்பை உருவாக்குதல் ஆகியவை அடங்கும்.

செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் செயல்முறை ஓட்டம்
படம் 1 இல் விளக்கப்பட்டுள்ளபடி, குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறை பல பணிகளை உள்ளடக்கியது. ஒவ்வொரு செயல்முறைக்கும் குறிப்பிட்ட தேவைகள் மற்றும் நெருங்கிய தொடர்புடைய பணிப்பாய்வுகள் உள்ளன, இது நடைமுறை கட்டத்தில் விரிவான பகுப்பாய்வு தேவைப்படுகிறது. குறிப்பிட்ட உள்ளடக்கம் பின்வருமாறு:

1. சிப் கட்டிங்
செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில், சில்லு வெட்டுதல் என்பது சிலிக்கான் செதில்களை தனித்தனி சில்லுகளாக வெட்டுவது மற்றும் அடுத்தடுத்த வேலை மற்றும் தரக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றில் ஏற்படும் இடையூறுகளைத் தடுக்க சிலிக்கான் குப்பைகளை உடனடியாக அகற்றுவதை உள்ளடக்குகிறது.

2. சிப் மவுண்டிங்
சிப் மவுண்டிங் செயல்முறையானது செதில் அரைக்கும் போது சுற்று சேதத்தைத் தவிர்ப்பதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

3. கம்பி பிணைப்பு செயல்முறை
கம்பி பிணைப்பு செயல்முறையின் தரத்தை கட்டுப்படுத்துவது பல்வேறு வகையான தங்க கம்பிகளை பயன்படுத்தி சிப்பின் பிணைப்பு பட்டைகளை பிரேம் பேட்களுடன் இணைக்கிறது, சிப் வெளிப்புற சுற்றுகளுடன் இணைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்து ஒட்டுமொத்த செயல்முறை ஒருமைப்பாட்டையும் பராமரிக்கிறது. பொதுவாக, டோப் செய்யப்பட்ட தங்க கம்பிகள் மற்றும் கலப்பு தங்க கம்பிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

டோப் செய்யப்பட்ட தங்க கம்பிகள்: வகைகளில் ஜிஎஸ், ஜிடபிள்யூ மற்றும் டிஎஸ் ஆகியவை அடங்கும், அவை உயர்-வில் (GS: >250 μm), நடுத்தர-உயர் வில் (GW: 200-300 μm) மற்றும் நடுத்தர-குறைந்த வில் (TS: 100-200 μm) முறையே பிணைப்பு.
அலாய்டு தங்க கம்பிகள்: வகைகளில் AG2 மற்றும் AG3 ஆகியவை அடங்கும், இது குறைந்த ஆர்க் பிணைப்புக்கு ஏற்றது (70-100 μm).
இந்த கம்பிகளுக்கான விட்டம் விருப்பங்கள் 0.013 மிமீ முதல் 0.070 மிமீ வரை இருக்கும். செயல்பாட்டுத் தேவைகள் மற்றும் தரநிலைகளின் அடிப்படையில் பொருத்தமான வகை மற்றும் விட்டத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பது தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கு முக்கியமானது.

4. மோல்டிங் செயல்முறை
மோல்டிங் உறுப்புகளில் உள்ள முக்கிய சுற்றமைப்பு இணைப்பினை உள்ளடக்கியது. மோல்டிங் செயல்பாட்டின் தரத்தை கட்டுப்படுத்துவது கூறுகளை பாதுகாக்கிறது, குறிப்பாக வெளிப்புற சக்திகளிலிருந்து பல்வேறு அளவு சேதத்தை ஏற்படுத்துகிறது. இது கூறுகளின் இயற்பியல் பண்புகளின் முழுமையான பகுப்பாய்வை உள்ளடக்கியது.

மூன்று முக்கிய முறைகள் தற்போது பயன்படுத்தப்படுகின்றன: செராமிக் பேக்கேஜிங், பிளாஸ்டிக் பேக்கேஜிங் மற்றும் பாரம்பரிய பேக்கேஜிங். உலகளாவிய சிப் உற்பத்தி தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய ஒவ்வொரு பேக்கேஜிங் வகையின் விகிதத்தையும் நிர்வகிப்பது மிகவும் முக்கியமானது. செயல்பாட்டின் போது, ​​எபோக்சி பிசின், மோல்டிங் மற்றும் பிந்தைய மோல்ட் க்யூரிங் மூலம் சிப் மற்றும் லீட் ஃப்ரேமை முன்கூட்டியே சூடாக்குவது போன்ற விரிவான திறன்கள் தேவைப்படுகின்றன.

5. பிந்தைய குணப்படுத்தும் செயல்முறை
மோல்டிங் செயல்முறைக்குப் பிறகு, சிகிச்சைக்குப் பின் சிகிச்சை தேவைப்படுகிறது, செயல்முறை அல்லது தொகுப்பைச் சுற்றியுள்ள அதிகப்படியான பொருட்களை அகற்றுவதில் கவனம் செலுத்துகிறது. ஒட்டுமொத்த செயல்முறையின் தரம் மற்றும் தோற்றத்தை பாதிக்காமல் இருக்க தரக் கட்டுப்பாடு அவசியம்.

6.சோதனை செயல்முறை
முந்தைய செயல்முறைகள் முடிந்ததும், மேம்பட்ட சோதனை தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் வசதிகளைப் பயன்படுத்தி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த தரம் சோதிக்கப்பட வேண்டும். இந்த படியானது தரவுகளின் விரிவான பதிவை உள்ளடக்கியது, அதன் செயல்திறன் நிலையின் அடிப்படையில் சிப் பொதுவாக செயல்படுகிறதா என்பதில் கவனம் செலுத்துகிறது. சோதனை உபகரணங்களின் அதிக விலையைக் கருத்தில் கொண்டு, காட்சி ஆய்வு மற்றும் மின் செயல்திறன் சோதனை உட்பட உற்பத்தி நிலைகள் முழுவதும் தரக் கட்டுப்பாட்டைப் பராமரிப்பது மிகவும் முக்கியமானது.

மின் செயல்திறன் சோதனை: தானியங்கி சோதனைக் கருவிகளைப் பயன்படுத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளைச் சோதிப்பது மற்றும் ஒவ்வொரு சுற்றும் மின் சோதனைக்காக சரியாக இணைக்கப்பட்டுள்ளதை உறுதி செய்வதும் இதில் அடங்கும்.
காட்சி ஆய்வு: தொழிநுட்ப வல்லுநர்கள் நுண்ணோக்கிகளைப் பயன்படுத்தி முடிக்கப்பட்ட தொகுக்கப்பட்ட சில்லுகள் குறைபாடுகள் இல்லாமல் இருப்பதையும் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் தரத் தரங்களைச் சந்திக்கின்றன என்பதையும் உறுதிப்படுத்துகின்றனர்.

7. குறிக்கும் செயல்முறை
இறுதிச் செயலாக்கம், தர ஆய்வு, பேக்கேஜிங் மற்றும் ஷிப்பிங் ஆகியவற்றிற்காக சோதனை செய்யப்பட்ட சில்லுகளை அரை முடிக்கப்பட்ட கிடங்கிற்கு மாற்றுவதை குறிக்கும் செயல்முறை உள்ளடக்கியது. இந்த செயல்முறை மூன்று முக்கிய படிகளை உள்ளடக்கியது:

1)எலக்ட்ரோபிளேட்டிங்: லீட்களை உருவாக்கிய பிறகு, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பைத் தடுக்க, அரிப்பு எதிர்ப்புப் பொருள் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் டெபாசிஷன் தொழில்நுட்பம் பொதுவாக பயன்படுத்தப்படுகிறது, ஏனெனில் பெரும்பாலான தடங்கள் தகரத்தால் ஆனவை.
2) வளைத்தல்: செயலாக்கப்பட்ட தடங்கள் பின்னர் வடிவமைக்கப்படுகின்றன, ஒருங்கிணைந்த சர்க்யூட் ஸ்ட்ரிப் ஒரு ஈயத்தை உருவாக்கும் கருவியில் வைக்கப்பட்டு, முன்னணி வடிவத்தை (J அல்லது L வகை) கட்டுப்படுத்துகிறது மற்றும் மேற்பரப்பில் பொருத்தப்பட்ட பேக்கேஜிங்.
3) லேசர் அச்சிடுதல்: இறுதியாக, உருவான தயாரிப்புகள் ஒரு வடிவமைப்புடன் அச்சிடப்படுகின்றன, இது படம் 3 இல் விளக்கப்பட்டுள்ளபடி, குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறைக்கு ஒரு சிறப்பு அடையாளமாக செயல்படுகிறது.

சவால்கள் மற்றும் பரிந்துரைகள்
குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளின் ஆய்வு அதன் கொள்கைகளை புரிந்து கொள்ள குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் மேலோட்டத்துடன் தொடங்குகிறது. அடுத்து, பேக்கேஜிங் செயல்முறை ஓட்டத்தை ஆராய்வது, வழக்கமான சிக்கல்களைத் தவிர்க்க சுத்திகரிக்கப்பட்ட நிர்வாகத்தைப் பயன்படுத்தி, செயல்பாடுகளின் போது உன்னிப்பான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்வதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. நவீன வளர்ச்சியின் சூழலில், குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் உள்ள சவால்களை அடையாளம் காண்பது அவசியம். தரக் கட்டுப்பாட்டு அம்சங்களில் கவனம் செலுத்துவது பரிந்துரைக்கப்படுகிறது, செயல்முறை தரத்தை திறம்பட மேம்படுத்த முக்கிய புள்ளிகளை முழுமையாக தேர்ச்சி பெறுகிறது.

தரக்கட்டுப்பாட்டு கண்ணோட்டத்தில் இருந்து பகுப்பாய்வு செய்தால், குறிப்பிட்ட உள்ளடக்கம் மற்றும் தேவைகள் கொண்ட பல செயல்முறைகள், ஒவ்வொன்றும் மற்றொன்றில் செல்வாக்கு செலுத்துவதால், செயல்படுத்தும் போது குறிப்பிடத்தக்க சவால்கள் உள்ளன. நடைமுறை செயல்பாடுகளின் போது கடுமையான கட்டுப்பாடு தேவை. நுட்பமான பணி மனப்பான்மை மற்றும் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறையின் தரம் மற்றும் தொழில்நுட்ப நிலைகளை மேம்படுத்தலாம், விரிவான பயன்பாட்டின் செயல்திறனை உறுதிசெய்து, சிறந்த ஒட்டுமொத்த நன்மைகளை அடையலாம்.(படம் 3 இல் காட்டப்பட்டுள்ளது).