PART/1CVD (ரசாயன நீராவி படிவு) முறை: 900-2300℃ இல், TaCl5 மற்றும் CnHm ஐ டான்டலம் மற்றும் கார்பன் மூலங்களாகப் பயன்படுத்துகிறது, H₂ வளிமண்டலத்தைக் குறைக்கிறது, Ar₂as கேரியர் வாயு, எதிர்வினை படிவு படம். தயாரிக்கப்பட்ட பூச்சு கச்சிதமான, சீரான மற்றும் அதிக தூய்மை கொண்டது. இருப்பினும், சில சிக்கல்கள் உள்ளன ...
மேலும் படிக்கவும்