ஒரு மெல்லிய படத்தின் தாள் எதிர்ப்பை எவ்வாறு அளவிடுவது?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் மெல்லிய படலங்கள் அனைத்தும் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் பட எதிர்ப்பு சாதனத்தின் செயல்திறனில் நேரடி தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. நாம் வழக்கமாக படத்தின் முழுமையான எதிர்ப்பை அளவிடுவதில்லை, ஆனால் அதை வகைப்படுத்த தாள் எதிர்ப்பைப் பயன்படுத்துகிறோம்.

தாள் எதிர்ப்பு மற்றும் தொகுதி எதிர்ப்புத் திறன் என்றால் என்ன?

வால்யூம் ரெசிஸ்டிவிட்டி, வால்யூம் ரெசிசிட்டிவிட்டி என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது ஒரு பொருளின் உள்ளார்ந்த சொத்து ஆகும், இது பொருள் மின்னோட்டத்தின் ஓட்டத்தை எவ்வளவு தடுக்கிறது என்பதை வகைப்படுத்துகிறது. பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் குறியீடு ρ குறிக்கிறது, அலகு Ω ஆகும்.

ஷீட் ரெசிஸ்டன்ஸ், ஷீட் ரெசிஸ்டன்ஸ் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, ஆங்கிலப் பெயர் ஷீட் ரெசிஸ்டன்ஸ், இது ஒரு யூனிட் பகுதிக்கு படத்தின் ரெசிஸ்டன்ஸ் மதிப்பைக் குறிக்கிறது. வெளிப்படுத்த பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் குறியீடுகள் ரூ அல்லது ρs, அலகு Ω/sq அல்லது Ω/□

இரண்டிற்கும் இடையே உள்ள உறவு: தாள் எதிர்ப்பு = தொகுதி எதிர்ப்பு/பட தடிமன், அதாவது ரூ =ρ/t

தாள் எதிர்ப்பை ஏன் அளவிட வேண்டும்?

ஒரு படத்தின் முழுமையான எதிர்ப்பை அளவிடுவதற்கு படத்தின் வடிவியல் பரிமாணங்கள் (நீளம், அகலம், தடிமன்) பற்றிய துல்லியமான அறிவு தேவைப்படுகிறது, இது பல மாறிகள் மற்றும் மிகவும் மெல்லிய அல்லது ஒழுங்கற்ற வடிவ படங்களுக்கு மிகவும் சிக்கலானது. தாள் எதிர்ப்பானது படத்தின் தடிமனுடன் மட்டுமே தொடர்புடையது மற்றும் சிக்கலான அளவு கணக்கீடுகள் இல்லாமல் விரைவாகவும் நேரடியாகவும் சோதிக்கப்படலாம்.

எந்தத் திரைப்படங்கள் தாள் எதிர்ப்பை அளவிட வேண்டும்?

பொதுவாக, கடத்தும் படங்கள் மற்றும் செமிகண்டக்டர் படங்கள் சதுர எதிர்ப்பிற்காக அளவிடப்பட வேண்டும், அதே நேரத்தில் இன்சுலேடிங் படங்கள் அளவிடப்பட வேண்டியதில்லை.
குறைக்கடத்தி ஊக்கமருந்துகளில், சிலிக்கானின் தாள் எதிர்ப்பும் அளவிடப்படுகிறது.

சதுர எதிர்ப்பை எவ்வாறு அளவிடுவது?

நான்கு ஆய்வு முறை பொதுவாக தொழில்துறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. நான்கு-ஆய்வு முறையானது 1E-3 முதல் 1E+9Ω/sq வரையிலான சதுர எதிர்ப்பை அளவிட முடியும். நான்கு-ஆய்வு முறையானது ஆய்வுக்கும் மாதிரிக்கும் இடையிலான தொடர்பு எதிர்ப்பின் காரணமாக அளவீட்டு பிழைகளைத் தவிர்க்கலாம்.

அளவீட்டு முறைகள்:
1) மாதிரியின் மேற்பரப்பில் நான்கு நேர்கோட்டில் அமைக்கப்பட்ட ஆய்வுகளை அமைக்கவும்.
2) இரண்டு வெளிப்புற ஆய்வுகளுக்கு இடையில் ஒரு நிலையான மின்னோட்டத்தைப் பயன்படுத்துங்கள்.
3) இரண்டு உள் ஆய்வுகளுக்கு இடையிலான சாத்தியமான வேறுபாட்டை அளவிடுவதன் மூலம் எதிர்ப்பை தீர்மானிக்கவும்

RS: தாள் எதிர்ப்பு
ΔV: உள் ஆய்வுகளுக்கு இடையே அளவிடப்படும் மின்னழுத்தத்தில் மாற்றம்
நான் : வெளிப்புற ஆய்வுகளுக்கு இடையே மின்னோட்டம் பயன்படுத்தப்படுகிறது