வரியின் முன் முடிவு (FEOL): அடித்தளம் அமைத்தல்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உற்பத்தி வரிகளின் முன், நடுத்தர மற்றும் பின் முனைகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையை தோராயமாக மூன்று நிலைகளாகப் பிரிக்கலாம்:
1) வரியின் முன் முனை
2) வரியின் நடுப்பகுதி
3) வரியின் பின் முனை

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உற்பத்தி வரி

சிப் உற்பத்தியின் சிக்கலான செயல்முறையை ஆராய, ஒரு வீட்டைக் கட்டுவது போன்ற எளிய ஒப்புமையை நாம் பயன்படுத்தலாம்:

உற்பத்தி வரிசையின் முன் முனை அடித்தளம் அமைப்பது மற்றும் வீட்டின் சுவர்களைக் கட்டுவது போன்றது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், இந்த நிலை சிலிக்கான் செதில்களில் அடிப்படை கட்டமைப்புகள் மற்றும் டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்குவதை உள்ளடக்கியது.

 

FEOL இன் முக்கிய படிகள்:

1.சுத்தப்படுத்துதல்: மெல்லிய சிலிக்கான் செதில்களைத் தொடங்கி, அசுத்தங்களை அகற்ற அதை சுத்தம் செய்யவும்.
2.ஆக்சிடேஷன்: சிப்பின் வெவ்வேறு பகுதிகளை தனிமைப்படுத்த சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கை செதில் மீது வளர்க்கவும்.
3. போட்டோலித்தோகிராபி: ஒளியைக் கொண்டு வரைபடங்களை வரைவதற்கு ஒப்பான வடிவங்களை செதில்களில் பொறிக்க ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியைப் பயன்படுத்தவும்.
4. பொறித்தல்: விரும்பிய வடிவங்களை வெளிப்படுத்த தேவையற்ற சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை அகற்றவும்.
5. ஊக்கமருந்து: சிலிக்கானில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தி அதன் மின் பண்புகளை மாற்றவும், டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்கவும், எந்த சிப்பின் அடிப்படை கட்டுமானத் தொகுதிகளும்.

 

கோட்டின் நடுப்பகுதி (MEOL): புள்ளிகளை இணைக்கிறது

உற்பத்தி வரிசையின் நடுப்பகுதி ஒரு வீட்டில் வயரிங் மற்றும் பிளம்பிங் நிறுவுவது போன்றது. இந்த நிலை FEOL கட்டத்தில் உருவாக்கப்பட்ட டிரான்சிஸ்டர்களுக்கு இடையே இணைப்புகளை நிறுவுவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

 

MEOL இன் முக்கிய படிகள்:

1. மின்கடத்தா வைப்பு: டிரான்சிஸ்டர்களைப் பாதுகாக்க வைப்பு மின்கடத்தா அடுக்குகள் (மின்கடத்தா எனப்படும்).
2.தொடர்பு உருவாக்கம்: டிரான்சிஸ்டர்களை ஒருவருக்கொருவர் மற்றும் வெளி உலகத்துடன் இணைக்க தொடர்புகளை உருவாக்கவும்.
3.இன்டர்கனெக்ட்: மின் சமிக்ஞைகளுக்கான பாதைகளை உருவாக்க உலோக அடுக்குகளைச் சேர்க்கவும், தடையற்ற சக்தி மற்றும் தரவு ஓட்டத்தை உறுதி செய்வதற்காக வீட்டிற்கு வயரிங் செய்வது போன்றது.

 

பின் எண்ட் ஆஃப் லைன் (BEOL): ஃபினிஷிங் டச்ஸ்

தயாரிப்பு வரிசையின் பின் முனையானது, ஒரு வீட்டிற்கு இறுதித் தொடுகைகளைச் சேர்ப்பது போன்றது - சாதனங்களை நிறுவுதல், ஓவியம் வரைதல் மற்றும் அனைத்தும் செயல்படுவதை உறுதி செய்தல். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், இந்த கட்டத்தில் இறுதி அடுக்குகளைச் சேர்ப்பது மற்றும் பேக்கேஜிங்கிற்காக சிப்பை தயார் செய்வது ஆகியவை அடங்கும்.

 

BEOL இன் முக்கிய படிகள்:

1.கூடுதல் உலோக அடுக்குகள்: ஒன்றோடொன்று இணைப்பை மேம்படுத்த பல உலோக அடுக்குகளைச் சேர்க்கவும், சிப் சிக்கலான பணிகளையும் அதிக வேகத்தையும் கையாளும் என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது.
2.Passivation: சுற்றுச்சூழல் பாதிப்பிலிருந்து சிப்பைக் காக்க பாதுகாப்பு அடுக்குகளைப் பயன்படுத்தவும்.
3.சோதனை: சிப் அனைத்து விவரக்குறிப்புகளையும் சந்திக்கிறதா என்பதை உறுதிசெய்ய கடுமையான சோதனைக்கு உட்படுத்தவும்.
4. டைசிங்: செதில்களை தனித்தனி சில்லுகளாக வெட்டுங்கள், ஒவ்வொன்றும் பேக்கேஜிங் மற்றும் மின்னணு சாதனங்களில் பயன்படுத்த தயாராக உள்ளது.

செமிசெரா சீனாவில் உள்ள முன்னணி OEM உற்பத்தியாளர் ஆகும், இது எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு விதிவிலக்கான மதிப்பை வழங்க அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் சேவைகளின் விரிவான வரம்பை நாங்கள் வழங்குகிறோம்:

1.CVD SiC பூச்சு(எபிடாக்ஸி, தனிப்பயன் CVD பூசப்பட்ட பாகங்கள், குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான உயர் செயல்திறன் பூச்சுகள் மற்றும் பல)
2.CVD SiC மொத்த பாகங்கள்(எட்ச் ரிங்ஸ், ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ், செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான தனிப்பயன் SiC பாகங்கள் மற்றும் பல)
3.CVD TaC பூசப்பட்ட பாகங்கள்(Epitaxy, SiC வேஃபர் வளர்ச்சி, உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகள் மற்றும் பல)
4.கிராஃபைட் பாகங்கள்(கிராஃபைட் படகுகள், உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்திற்கான தனிப்பயன் கிராஃபைட் கூறுகள் மற்றும் பல)
5.SiC பாகங்கள்(SiC படகுகள், SiC உலை குழாய்கள், மேம்பட்ட பொருள் செயலாக்கத்திற்கான தனிப்பயன் SiC கூறுகள் மற்றும் பல)
6.குவார்ட்ஸ் பாகங்கள்(குவார்ட்ஸ் படகுகள், குறைக்கடத்தி மற்றும் சோலார் தொழில்களுக்கான தனிப்பயன் குவார்ட்ஸ் பாகங்கள் மற்றும் பல)

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, மேம்பட்ட பொருட்கள் செயலாக்கம் மற்றும் உயர்-தொழில்நுட்ப பயன்பாடுகள் உட்பட பல்வேறு தொழில்களுக்கு புதுமையான மற்றும் நம்பகமான தீர்வுகளை வழங்குவதை உறுதிசெய்வதற்கான எங்கள் அர்ப்பணிப்பு உறுதி செய்கிறது. துல்லியம் மற்றும் தரத்தை மையமாகக் கொண்டு, ஒவ்வொரு வாடிக்கையாளரின் தனிப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதில் நாங்கள் அர்ப்பணித்துள்ளோம்.


இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-09-2024