உற்பத்தி வரிசையின் முன் முனை அடித்தளம் அமைப்பது மற்றும் ஒரு வீட்டின் சுவர்களைக் கட்டுவது போன்றது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், இந்த நிலை சிலிக்கான் செதில்களில் அடிப்படை கட்டமைப்புகள் மற்றும் டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்குவதை உள்ளடக்கியது.
FEOL இன் முக்கிய படிகள்:
1. சுத்தம் செய்தல்:மெல்லிய சிலிக்கான் செதில்களைத் தொடங்கி, அசுத்தங்களை அகற்ற அதை சுத்தம் செய்யவும்.
2. ஆக்சிஜனேற்றம்:சிப்பின் வெவ்வேறு பகுதிகளை தனிமைப்படுத்த சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கை செதில் மீது வளர்க்கவும்.
3. போட்டோலித்தோகிராபி:ஒளியுடன் வரைபடங்களை வரைவதற்கு ஒப்பான வடிவங்களை செதில்களில் பொறிக்க ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியைப் பயன்படுத்தவும்.
4. பொறித்தல்:விரும்பிய வடிவங்களை வெளிப்படுத்த தேவையற்ற சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை அகற்றவும்.
5. ஊக்கமருந்து:சிலிக்கானில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தி அதன் மின் பண்புகளை மாற்றவும், டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்கவும், எந்த சிப்பின் அடிப்படை கட்டுமான தொகுதிகள்.
கோட்டின் நடுப்பகுதி (MEOL): புள்ளிகளை இணைக்கிறது
உற்பத்தி வரிசையின் நடுப்பகுதி ஒரு வீட்டில் வயரிங் மற்றும் பிளம்பிங் நிறுவுவது போன்றது. இந்த நிலை FEOL கட்டத்தில் உருவாக்கப்பட்ட டிரான்சிஸ்டர்களுக்கு இடையே இணைப்புகளை நிறுவுவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.
MEOL இன் முக்கிய படிகள்:
1. மின்கடத்தா படிவு:டிரான்சிஸ்டர்களைப் பாதுகாப்பதற்காக இன்சுலேடிங் லேயர்களை (மின்கடத்தா என்று அழைக்கப்படுகிறது) டெபாசிட் செய்யவும்.
2. தொடர்பு உருவாக்கம்:டிரான்சிஸ்டர்களை ஒருவருக்கொருவர் மற்றும் வெளி உலகத்துடன் இணைக்க தொடர்புகளை உருவாக்கவும்.
3. ஒன்றோடொன்று இணைக்கவும்:மின் சமிக்ஞைகளுக்கான பாதைகளை உருவாக்க உலோக அடுக்குகளைச் சேர்க்கவும், தடையற்ற மின்சாரம் மற்றும் தரவு ஓட்டத்தை உறுதி செய்வதற்காக வீட்டிற்கு வயரிங் செய்வது போன்றது.
பின் எண்ட் ஆஃப் லைன் (BEOL): ஃபினிஷிங் டச்ஸ்
-
உற்பத்தி வரிசையின் பின் முனையானது, ஒரு வீட்டிற்கு இறுதித் தொடுதல்களைச் சேர்ப்பது போன்றது - சாதனங்களை நிறுவுதல், ஓவியம் வரைதல் மற்றும் அனைத்தும் செயல்படுவதை உறுதி செய்தல். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், இந்த நிலை இறுதி அடுக்குகளைச் சேர்ப்பது மற்றும் பேக்கேஜிங்கிற்கான சிப்பை தயாரிப்பதை உள்ளடக்கியது.
BEOL இன் முக்கிய படிகள்:
1. கூடுதல் உலோக அடுக்குகள்:பல உலோக அடுக்குகளைச் சேர்ப்பதன் மூலம் ஒன்றோடொன்று இணைப்பை மேம்படுத்தவும், சிப் சிக்கலான பணிகளையும் அதிக வேகத்தையும் கையாளும் என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது.
2. செயலற்ற நிலை:சுற்றுச்சூழல் பாதிப்பிலிருந்து சிப்பைக் காக்க பாதுகாப்பு அடுக்குகளைப் பயன்படுத்தவும்.
3. சோதனை:சிப் அனைத்து விவரக்குறிப்புகளையும் சந்திக்கிறதா என்பதை உறுதிசெய்ய கடுமையான சோதனைக்கு உட்படுத்தவும்.
4. டைசிங்:தனித்தனி சில்லுகளாக செதில்களை வெட்டுங்கள், ஒவ்வொன்றும் பேக்கேஜிங் மற்றும் மின்னணு சாதனங்களில் பயன்படுத்த தயாராக உள்ளது.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-08-2024