சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகளின் அதிக வலிமை மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை பண்புகளை ஆராய்தல்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செதில் படகுகள்குறைக்கடத்தி துறையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, உயர்தர மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியை எளிதாக்குகிறது. என்ற குறிப்பிடத்தக்க அம்சங்களை இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறதுSiC செதில் படகுகள், அவற்றின் விதிவிலக்கான வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்துகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் வளர்ச்சியை ஆதரிப்பதில் அவற்றின் முக்கியத்துவத்தை எடுத்துக்காட்டுகிறது.

புரிதல்சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகள்:
SiC படகுகள் என்றும் அழைக்கப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகுகள், குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் அத்தியாவசிய கூறுகளாகும். இந்த படகுகள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் பல்வேறு நிலைகளான செதுக்குதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பரவல் போன்றவற்றின் போது சிலிக்கான் செதில்களுக்கான கேரியர்களாக செயல்படுகின்றன. பாரம்பரிய கிராஃபைட் படகுகளை விட SiC செதில் படகுகள் அவற்றின் உயர்ந்த பண்புகளால் விரும்பப்படுகின்றன.

இணையற்ற வலிமை:
தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்றுSiC செதில் படகுகள்அவர்களின் விதிவிலக்கான பலம். சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக நெகிழ்வு வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளைத் தாங்கும் வகையில் படகுகளுக்கு உதவுகிறது. SiC படகுகள் அதிக வெப்பநிலை, இயந்திர அழுத்தங்கள் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களை அவற்றின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யாமல் தாங்கும். இந்த வலிமையானது மென்மையான சிலிக்கான் செதில்களின் பாதுகாப்பான போக்குவரத்து மற்றும் கையாளுதலை உறுதி செய்கிறது, உற்பத்தியின் போது உடைப்பு மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

ஈர்க்கக்கூடிய கடினத்தன்மை:
மற்றொரு குறிப்பிடத்தக்க பண்புSiC செதில் படகுகள்அவர்களின் அதிக கடினத்தன்மை. சிலிக்கான் கார்பைடு 9.5 மோஸ் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது மனிதனுக்குத் தெரிந்த கடினமான பொருட்களில் ஒன்றாகும். இந்த விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை SiC படகுகளுக்கு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, அவை எடுத்துச் செல்லும் சிலிக்கான் செதில்களில் அரிப்பு அல்லது சேதத்தைத் தடுக்கிறது. SiC இன் கடினத்தன்மை படகுகளின் நீண்ட ஆயுளுக்கும் பங்களிக்கிறது, ஏனெனில் அவை குறிப்பிடத்தக்க தேய்மான அறிகுறிகள் இல்லாமல் நீடித்த பயன்பாட்டைத் தாங்கி, சீரான செயல்திறன் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.

கிராஃபைட் படகுகளின் நன்மைகள்:
பாரம்பரிய கிராஃபைட் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது,சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகுகள்பல நன்மைகளை வழங்குகின்றன. கிராஃபைட் படகுகள் அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் சிதைவுக்கு ஆளாகின்றன, SiC படகுகள் வெப்ப சிதைவு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன மேலும்,SiC செதில் படகுகள்கிராஃபைட் படகுகளை விட வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் உள்ளது, வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் போது வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் சிதைவின் அபாயத்தை குறைக்கிறது. SiC படகுகளின் அதிக வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை ஆகியவை உடைப்பு மற்றும் தேய்மானம் ஆகியவற்றைக் குறைக்கின்றன, இதன் விளைவாக குறைக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உற்பத்தி அதிகரிக்கும்.

முடிவு:
சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகுகள், அவற்றின் பாராட்டத்தக்க வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மையுடன், குறைக்கடத்தித் தொழிலில் தவிர்க்க முடியாத கூறுகளாக வெளிவந்துள்ளன. கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கும் திறன், அவற்றின் உயர்ந்த உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன், உற்பத்தி செயல்முறைகளின் போது சிலிக்கான் செதில்களைப் பாதுகாப்பாகக் கையாளுவதை உறுதி செய்கிறது. SiC வேஃபர் படகுகள் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் வளர்ச்சி மற்றும் புதுமைகளை இயக்குவதில் தொடர்ந்து முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.