CVD SiC என்றால் என்ன
இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) என்பது ஒரு வெற்றிட படிவு செயல்முறை ஆகும், இது உயர் தூய்மையான திடப் பொருட்களை உருவாக்க பயன்படுகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி துறையில் இந்த செயல்முறை பெரும்பாலும் செதில்களின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க பயன்படுகிறது. சிவிடி மூலம் SiC ஐத் தயாரிக்கும் செயல்பாட்டில், அடி மூலக்கூறு ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட ஆவியாகும் முன்னோடிகளுக்கு வெளிப்படும், அவை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிந்து விரும்பிய SiC வைப்புத்தொகையை டெபாசிட் செய்கின்றன. SiC பொருட்களை தயாரிப்பதற்கான பல முறைகளில், இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் அதிக சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் முறை வலுவான செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.
CVD SiC பொருட்கள் செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்படுத்த மிகவும் பொருத்தமானவை, அவை சிறந்த வெப்ப, மின் மற்றும் இரசாயன பண்புகளின் தனித்துவமான கலவையின் காரணமாக அதிக செயல்திறன் கொண்ட பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. CVD SiC கூறுகள் பொறித்தல் உபகரணங்கள், MOCVD உபகரணங்கள், Si எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள், விரைவான வெப்ப செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
ஒட்டுமொத்தமாக, CVD SiC கூறுகளின் மிகப்பெரிய சந்தைப் பிரிவு உபகரணக் கூறுகளை பொறிப்பதாகும். அதன் குறைந்த வினைத்திறன் மற்றும் குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் கொண்ட பொறித்தல் வாயுக்களுக்கு கடத்துத்திறன் காரணமாக, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பிளாஸ்மா பொறிக்கும் கருவிகளில் குவிய வளையங்கள் போன்ற கூறுகளுக்கு ஒரு சிறந்த பொருளாகும்.
செதுக்கும் கருவிகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகள், ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ், கேஸ் ஷவர் ஹெட்ஸ், டிரேக்கள், எட்ஜ் ரிங்க்ஸ் போன்றவை அடங்கும். ஃபோகஸ் ரிங்வை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செதில் வெளியில் வைக்கப்பட்டு செதில் நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். வளையத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்த வளையத்திற்கு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், செயலாக்கத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த பிளாஸ்மா செதில் மீது கவனம் செலுத்துகிறது.
பாரம்பரிய ஃபோகஸ் வளையங்கள் சிலிக்கான் அல்லது குவார்ட்ஸால் செய்யப்பட்டவை. ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று மினியேட்டரைசேஷனின் முன்னேற்றத்துடன், ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் தேவையும் முக்கியத்துவமும் அதிகரித்து வருகின்றன, மேலும் பிளாஸ்மாவை பொறிக்கும் சக்தியும் ஆற்றலும் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகின்றன. குறிப்பாக, கொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட (CCP) பிளாஸ்மா பொறிக்கும் கருவிகளில் தேவைப்படும் பிளாஸ்மா ஆற்றல் அதிகமாக உள்ளது, எனவே சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் செய்யப்பட்ட ஃபோகஸ் வளையங்களின் பயன்பாட்டு விகிதம் அதிகரித்து வருகிறது. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையத்தின் திட்ட வரைபடம் கீழே காட்டப்பட்டுள்ளது:
இடுகை நேரம்: ஜூன்-20-2024