படிக இழுக்கும் போது ரேடியல் எதிர்ப்பின் சீரான கட்டுப்பாடு

ஒற்றை படிகங்களின் ரேடியல் எதிர்ப்பின் சீரான தன்மையை பாதிக்கும் முக்கிய காரணங்கள் திட-திரவ இடைமுகத்தின் தட்டையான தன்மை மற்றும் படிக வளர்ச்சியின் போது சிறிய விமான விளைவு ஆகும்.

திட-திரவ இடைமுகத்தின் தட்டையான செல்வாக்கு படிக வளர்ச்சியின் போது, ​​உருகுவது சமமாக கிளறப்பட்டால், சமமான எதிர்ப்பு மேற்பரப்பு திட-திரவ இடைமுகமாகும் (உருகுவதில் உள்ள தூய்மையற்ற செறிவு படிகத்தில் உள்ள தூய்மையற்ற செறிவிலிருந்து வேறுபட்டது, எனவே எதிர்ப்பாற்றல் வேறுபட்டது, மேலும் திட-திரவ இடைமுகத்தில் மட்டுமே எதிர்ப்பானது சமமாக இருக்கும்). அசுத்தமான K<1, உருகுவதற்கான இடைமுகம் குவிந்தால், ரேடியல் எதிர்ப்பின் நடுவில் அதிகமாகவும் விளிம்பில் குறைவாகவும் இருக்கும், அதே சமயம் உருகுவதற்கான குழிவான இடைமுகம் எதிர்மாறாக இருக்கும். தட்டையான திட-திரவ இடைமுகத்தின் ரேடியல் ரெசிஸ்டிவிட்டி சீரான தன்மை சிறந்தது. படிக இழுக்கும் போது திட-திரவ இடைமுகத்தின் வடிவம் வெப்ப புல விநியோகம் மற்றும் படிக வளர்ச்சி இயக்க அளவுருக்கள் போன்ற காரணிகளால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. நேராக இழுக்கப்பட்ட ஒற்றைப் படிகத்தில், திட-திரவ மேற்பரப்பின் வடிவம், உலை வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் படிக வெப்பச் சிதறல் போன்ற காரணிகளின் ஒருங்கிணைந்த விளைவின் விளைவாகும்.

படிகங்களை இழுக்கும்போது, ​​திட-திரவ இடைமுகத்தில் நான்கு முக்கிய வகையான வெப்ப பரிமாற்றங்கள் உள்ளன:

உருகிய சிலிக்கான் திடப்படுத்துதலால் வெளியிடப்பட்ட கட்ட மாற்றத்தின் மறைந்த வெப்பம்

உருகலின் வெப்ப கடத்தல்

படிகத்தின் வழியாக மேல்நோக்கி வெப்ப கடத்தல்

படிகத்தின் வழியாக கதிர்வீச்சு வெப்பம் வெளிப்புறமாக
மறைந்த வெப்பம் முழு இடைமுகத்திற்கும் ஒரே மாதிரியாக இருக்கும், மேலும் வளர்ச்சி விகிதம் நிலையானதாக இருக்கும்போது அதன் அளவு மாறாது. (வேகமான வெப்ப கடத்துத்திறன், வேகமான குளிரூட்டல் மற்றும் அதிகரித்த திடப்படுத்துதல் விகிதம்)

வளரும் படிகத்தின் தலையானது ஒற்றைப் படிக உலையின் நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட விதை படிகக் கம்பிக்கு அருகில் இருக்கும் போது, ​​படிகத்தின் வெப்பநிலை சாய்வு பெரியதாக இருக்கும், இது படிகத்தின் நீளமான வெப்பக் கடத்தலை மேற்பரப்பு கதிர்வீச்சு வெப்பத்தை விட அதிகமாகச் செய்கிறது, எனவே திட-திரவ இடைமுகம் உருகுவதற்கு குவிந்துள்ளது.

படிகமானது நடுப்பகுதிக்கு வளரும் போது, ​​நீளமான வெப்ப கடத்துத்திறன் மேற்பரப்பு கதிர்வீச்சு வெப்பத்திற்கு சமமாக இருக்கும், எனவே இடைமுகம் நேராக இருக்கும்.

படிகத்தின் வால் பகுதியில், நீளமான வெப்ப கடத்துத்திறன் மேற்பரப்பு கதிர்வீச்சு வெப்பத்தை விட குறைவாக உள்ளது, இதனால் திட-திரவ இடைமுகம் உருகுவதற்கு குழிவானது.
சீரான ரேடியல் ரெசிஸ்ட்டிவிட்டி கொண்ட ஒற்றை படிகத்தைப் பெற, திட-திரவ இடைமுகம் சமன் செய்யப்பட வேண்டும்.
பயன்படுத்தப்படும் முறைகள்: ① வெப்பப் புலத்தின் ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வைக் குறைக்க படிக வளர்ச்சி வெப்ப அமைப்பைச் சரிசெய்யவும்.
②படிக இழுக்கும் செயல்பாட்டு அளவுருக்களை சரிசெய்யவும். எடுத்துக்காட்டாக, உருகுவதற்கு குவிந்த இடைமுகத்திற்கு, படிக திடப்படுத்தல் விகிதத்தை அதிகரிக்க இழுக்கும் வேகத்தை அதிகரிக்கவும். இந்த நேரத்தில், இடைமுகத்தில் வெளியிடப்படும் படிகமயமாக்கல் மறைந்த வெப்பத்தின் அதிகரிப்பு காரணமாக, இடைமுகத்தின் அருகே உருகும் வெப்பநிலை அதிகரிக்கிறது, இதன் விளைவாக இடைமுகத்தில் உள்ள படிகத்தின் ஒரு பகுதி உருகும், இடைமுகம் தட்டையானது. மாறாக, வளர்ச்சி இடைமுகம் உருகுவதை நோக்கி குழிவாக இருந்தால், வளர்ச்சி விகிதத்தை குறைக்கலாம், மேலும் உருகுவது தொடர்புடைய அளவை திடப்படுத்தி, வளர்ச்சி இடைமுகத்தை தட்டையாக்கும்.
③ கிரிஸ்டல் அல்லது க்ரூசிபிலின் சுழற்சி வேகத்தை சரிசெய்யவும். படிக சுழற்சி வேகத்தை அதிகரிப்பது, திட-திரவ இடைமுகத்தில் கீழிருந்து மேல் நோக்கி நகரும் உயர்-வெப்பநிலை திரவ ஓட்டத்தை அதிகரிக்கும், இதனால் இடைமுகம் குவிந்த நிலையில் இருந்து குழிவானதாக மாறும். பிறையின் சுழற்சியால் ஏற்படும் திரவ ஓட்டத்தின் திசையானது இயற்கையான வெப்பச்சலனத்தின் அதே திசையாகும், மேலும் விளைவு படிக சுழற்சிக்கு முற்றிலும் எதிரானது.
④ க்ரூசிபிளின் உள் விட்டம் மற்றும் படிகத்தின் விட்டம் ஆகியவற்றின் விகிதத்தை அதிகரிப்பது திட-திரவ இடைமுகத்தை சமன் செய்யும், மேலும் படிகத்தின் இடப்பெயர்வு அடர்த்தி மற்றும் ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கத்தையும் குறைக்கலாம். பொதுவாக, சிலுவை விட்டம்: படிக விட்டம் = 3~2.5:1.
சிறிய விமான விளைவின் தாக்கம்
படிக வளர்ச்சியின் திட-திரவ இடைமுகம் சிலுவையில் உருகும் சமவெப்பத்தின் வரம்பு காரணமாக பெரும்பாலும் வளைந்திருக்கும். படிக வளர்ச்சியின் போது படிகத்தை விரைவாக உயர்த்தினால், (111) ஜெர்மானியம் மற்றும் சிலிக்கான் ஒற்றைப் படிகங்களின் திட-திரவ இடைமுகத்தில் ஒரு சிறிய தட்டையான விமானம் தோன்றும். இது (111) அணு நெருக்கமான விமானம், பொதுவாக சிறிய விமானம் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
சிறிய விமானப் பகுதியில் உள்ள தூய்மையற்ற செறிவு சிறிய விமானம் அல்லாத பகுதியில் இருந்து மிகவும் வேறுபட்டது. சிறிய விமானப் பகுதியில் அசுத்தங்களின் அசாதாரண விநியோகத்தின் இந்த நிகழ்வு சிறிய விமான விளைவு என்று அழைக்கப்படுகிறது.
சிறிய விமான விளைவு காரணமாக, சிறிய விமானப் பகுதியின் எதிர்ப்புத் திறன் குறையும், கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில், தூய்மையற்ற குழாய் கோர்கள் தோன்றும். சிறிய விமான விளைவால் ஏற்படும் ரேடியல் ரெசிஸ்டிவிட்டி ஒத்திசைவை அகற்ற, திட-திரவ இடைமுகத்தை சமன் செய்ய வேண்டும்.

மேலும் கலந்துரையாடலுக்கு எங்களைப் பார்வையிட உலகம் முழுவதிலுமிருந்து எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் வரவேற்கிறோம்!

https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/