குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கிற்கான தற்போதைய நுட்பங்கள் படிப்படியாக மேம்பட்டு வருகின்றன, ஆனால் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கில் தானியங்கு உபகரணங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்கள் எந்த அளவிற்கு ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன என்பது எதிர்பார்க்கப்படும் விளைவுகளை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது.தற்போதுள்ள குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறைகள் இன்னும் பின்தங்கிய குறைபாடுகளால் பாதிக்கப்படுகின்றன, மேலும் நிறுவன தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் தானியங்கு பேக்கேஜிங் கருவி அமைப்புகளை முழுமையாகப் பயன்படுத்தவில்லை.இதன் விளைவாக, செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் செயல்முறைகள், தன்னியக்கக் கட்டுப்பாட்டுத் தொழில்நுட்பங்களின் ஆதரவு இல்லாததால், அதிக உழைப்பு மற்றும் நேரச் செலவுகள் ஏற்படும், இதனால் தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கின் தரத்தை கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்துவது கடினம்.
பகுப்பாய்வு செய்ய வேண்டிய முக்கிய பகுதிகளில் ஒன்று, குறைந்த கே தயாரிப்புகளின் நம்பகத்தன்மையில் பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளின் தாக்கம் ஆகும்.தங்கம்-அலுமினியம் பிணைப்பு கம்பி இடைமுகத்தின் ஒருமைப்பாடு நேரம் மற்றும் வெப்பநிலை போன்ற காரணிகளால் பாதிக்கப்படுகிறது, இதனால் அதன் நம்பகத்தன்மை காலப்போக்கில் குறைகிறது மற்றும் அதன் இரசாயன கட்டத்தில் மாற்றங்கள் ஏற்படுகிறது, இது செயல்பாட்டில் சிதைவுக்கு வழிவகுக்கும்.எனவே, செயல்பாட்டின் ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் தரக் கட்டுப்பாட்டில் கவனம் செலுத்துவது முக்கியம்.ஒவ்வொரு பணிக்கும் சிறப்புக் குழுக்களை உருவாக்குவது இந்தப் பிரச்சினைகளை உன்னிப்பாகக் கையாள உதவும்.பொதுவான சிக்கல்களின் மூல காரணங்களைப் புரிந்துகொள்வது மற்றும் இலக்கு, நம்பகமான தீர்வுகளை உருவாக்குவது ஒட்டுமொத்த செயல்முறை தரத்தை பராமரிப்பதற்கு அவசியம்.குறிப்பாக, பிணைப்பு கம்பிகளின் ஆரம்ப நிலைகள், பிணைப்பு பட்டைகள் மற்றும் அடிப்படை பொருட்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகள் உட்பட, கவனமாக பகுப்பாய்வு செய்யப்பட வேண்டும்.பிணைப்புத் திண்டு மேற்பரப்பு சுத்தமாக இருக்க வேண்டும், மேலும் பிணைப்பு கம்பி பொருட்கள், பிணைப்பு கருவிகள் மற்றும் பிணைப்பு அளவுருக்கள் ஆகியவற்றின் தேர்வு மற்றும் பயன்பாடு அதிகபட்ச அளவிற்கு செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.பேக்கேஜிங் நம்பகத்தன்மையில் தங்கம்-அலுமினியம் IMC இன் தாக்கம் குறிப்பிடத்தக்க வகையில் சிறப்பிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்ய, k காப்பர் செயல்முறை தொழில்நுட்பத்தை ஃபைன்-பிட்ச் பிணைப்புடன் இணைக்க பரிந்துரைக்கப்படுகிறது.ஃபைன்-பிட்ச் பிணைப்பு கம்பிகளுக்கு, எந்த உருமாற்றமும் பிணைப்பு பந்துகளின் அளவை பாதிக்கலாம் மற்றும் IMC பகுதியை கட்டுப்படுத்தலாம்.எனவே, நடைமுறைக் கட்டத்தில் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு அவசியம், குழுக்கள் மற்றும் பணியாளர்கள் தங்கள் குறிப்பிட்ட பணிகள் மற்றும் பொறுப்புகளை முழுமையாக ஆராய்ந்து, மேலும் சிக்கல்களைத் தீர்ப்பதற்கான செயல்முறைத் தேவைகள் மற்றும் விதிமுறைகளைப் பின்பற்றுகிறார்கள்.
குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கின் விரிவான செயலாக்கம் ஒரு தொழில்முறை தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.எண்டர்பிரைஸ் டெக்னீஷியன்கள், கூறுகளை சரியாக கையாள, குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கின் செயல்பாட்டு படிகளை கண்டிப்பாக பின்பற்ற வேண்டும்.இருப்பினும், சில நிறுவன பணியாளர்கள் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறையை முடிக்க தரப்படுத்தப்பட்ட நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துவதில்லை மற்றும் குறைக்கடத்தி கூறுகளின் விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் மாதிரிகளை சரிபார்க்க கூட புறக்கணிக்கிறார்கள்.இதன் விளைவாக, சில குறைக்கடத்தி கூறுகள் தவறாக தொகுக்கப்பட்டுள்ளன, குறைக்கடத்தி அதன் அடிப்படை செயல்பாடுகளை செய்வதிலிருந்து தடுக்கிறது மற்றும் நிறுவனத்தின் பொருளாதார நன்மைகளை பாதிக்கிறது.
ஒட்டுமொத்தமாக, குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கின் தொழில்நுட்ப நிலை இன்னும் முறையாக மேம்படுத்தப்பட வேண்டும்.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனங்களில் உள்ள தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள், அனைத்து குறைக்கடத்தி கூறுகளின் சரியான ஒருங்கிணைப்பை உறுதிசெய்ய, தானியங்கு பேக்கேஜிங் உபகரண அமைப்புகளை சரியாகப் பயன்படுத்த வேண்டும்.தவறாக தொகுக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களை துல்லியமாக அடையாளம் காண தர ஆய்வாளர்கள் விரிவான மற்றும் கண்டிப்பான மதிப்பாய்வுகளை மேற்கொள்ள வேண்டும் மற்றும் பயனுள்ள திருத்தங்களைச் செய்ய தொழில்நுட்ப வல்லுநர்களை உடனடியாக வலியுறுத்த வேண்டும்.
மேலும், கம்பி பிணைப்பு செயல்முறையின் தரக் கட்டுப்பாட்டின் பின்னணியில், கம்பி பிணைப்பு பகுதியில் உள்ள உலோக அடுக்கு மற்றும் ILD அடுக்கு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான தொடர்பு, குறிப்பாக கம்பி பிணைப்பு திண்டு மற்றும் அடிப்படை உலோகம்/ILD அடுக்கு ஆகியவை கப் வடிவத்தில் சிதைந்துவிடும். .இது முக்கியமாக கம்பி பிணைப்பு இயந்திரத்தால் பயன்படுத்தப்படும் அழுத்தம் மற்றும் மீயொலி ஆற்றல் காரணமாகும், இது படிப்படியாக மீயொலி ஆற்றலைக் குறைத்து கம்பி பிணைப்பு பகுதிக்கு கடத்துகிறது, தங்கம் மற்றும் அலுமினிய அணுக்களின் பரஸ்பர பரவலைத் தடுக்கிறது.ஆரம்ப கட்டத்தில், குறைந்த-கே சிப் கம்பி பிணைப்பின் மதிப்பீடுகள் பிணைப்பு செயல்முறை அளவுருக்கள் அதிக உணர்திறன் கொண்டவை என்பதை வெளிப்படுத்துகின்றன.பிணைப்பு அளவுருக்கள் மிகவும் குறைவாக அமைக்கப்பட்டால், கம்பி முறிவுகள் மற்றும் பலவீனமான பிணைப்புகள் போன்ற சிக்கல்கள் எழலாம்.இதை ஈடுகட்ட மீயொலி ஆற்றலை அதிகரிப்பது ஆற்றல் இழப்பு மற்றும் கோப்பை வடிவ சிதைவை அதிகரிக்கச் செய்யும்.கூடுதலாக, ILD அடுக்குக்கும் உலோக அடுக்குக்கும் இடையே உள்ள பலவீனமான ஒட்டுதல், குறைந்த-k பொருட்களின் உடையக்கூடிய தன்மையுடன், ILD லேயரில் இருந்து உலோக அடுக்கு நீக்கப்படுவதற்கான முதன்மைக் காரணங்களாகும்.தற்போதைய குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறை தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் கண்டுபிடிப்புகளில் இந்த காரணிகள் முக்கிய சவால்களில் ஒன்றாகும்.
இடுகை நேரம்: மே-22-2024