செமிகண்டக்டர் துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பயன்பாடு

குறைக்கடத்திகள்:

"ஒரு தலைமுறை தொழில்நுட்பம், ஒரு தலைமுறை செயல்முறை மற்றும் ஒரு தலைமுறை உபகரணங்கள்" என்ற தொழில்துறை சட்டத்தை குறைக்கடத்தி தொழில் பின்பற்றுகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் மேம்படுத்தல் மற்றும் மறு செய்கையானது துல்லியமான பாகங்களின் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றத்தை சார்ந்துள்ளது. அவற்றில், துல்லியமான பீங்கான் பாகங்கள், இரசாயன நீராவி படிவு, இயற்பியல் நீராவி படிவு, அயனி பொருத்துதல் மற்றும் பொறித்தல் போன்ற முக்கிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி இணைப்புகளின் தொடரில் முக்கியமான பயன்பாடுகளைக் கொண்ட செமிகண்டக்டர் துல்லியமான பாகங்கள் மிகவும் பிரதிநிதித்துவம் வாய்ந்தவை. தாங்கு உருளைகள், வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள், லைனிங், எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ், இயந்திர கையாளுதல் ஆயுதங்கள் போன்றவை. குறிப்பாக உபகரண குழிக்குள், இது ஆதரவு, பாதுகாப்பு மற்றும் திசைதிருப்பல் ஆகியவற்றின் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது.

2023 முதல், நெதர்லாந்தும் ஜப்பானும் அடுத்தடுத்து புதிய கட்டுப்பாடுகள் அல்லது வெளிநாட்டு வர்த்தக ஆணைகளை வெளியிட்டன, லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் உட்பட குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான ஏற்றுமதி உரிம விதிமுறைகளைச் சேர்த்தன, மேலும் குறைக்கடத்தி எதிர்ப்பு உலகமயமாக்கலின் போக்கு படிப்படியாக வெளிப்பட்டது. விநியோகச் சங்கிலியின் சுயாதீனக் கட்டுப்பாட்டின் முக்கியத்துவம் பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் பெற்றுள்ளது. குறைக்கடத்தி உபகரண பாகங்களை உள்ளூர்மயமாக்குவதற்கான கோரிக்கையை எதிர்கொண்டு, உள்நாட்டு நிறுவனங்கள் தொழில்துறை வளர்ச்சியை தீவிரமாக ஊக்குவிக்கின்றன. Zhongci எலெக்ட்ரானிக்ஸ், வெப்பமூட்டும் தட்டுகள் மற்றும் மின்னியல் சக்ஸ் போன்ற உயர் தொழில்நுட்ப துல்லியமான பாகங்களின் உள்ளூர்மயமாக்கலை உணர்ந்துள்ளது, உள்நாட்டு குறைக்கடத்தி உபகரணத் தொழிலின் "தடை" சிக்கலை தீர்க்கிறது; Dezhi New Materials, SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தளங்கள் மற்றும் SiC எச்சிங் மோதிரங்களின் முன்னணி உள்நாட்டு சப்ளையர், 100 மில்லியன் யுவான் நிதியுதவியை வெற்றிகரமாக முடித்துள்ளது.
உயர் கடத்துத்திறன் சிலிக்கான் நைட்ரைடு செராமிக் அடி மூலக்கூறுகள்:

சிலிக்கான் நைட்ரைடு பீங்கான் அடி மூலக்கூறுகள் முக்கியமாக மின் அலகுகள், குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் தூய மின்சார வாகனங்கள் (EV கள்) மற்றும் கலப்பின மின்சார வாகனங்கள் (HEV கள்) இன்வெர்ட்டர்கள் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவை மிகப்பெரிய சந்தை திறன் மற்றும் பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

தற்போது, ​​உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கான் நைட்ரைடு செராமிக் அடி மூலக்கூறு வணிக பயன்பாடுகளுக்கு வெப்ப கடத்துத்திறன் ≥85 W/(m·K), வளைக்கும் வலிமை ≥650MPa மற்றும் எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை 5~7MPa·m1/2 தேவைப்படுகிறது. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் நைட்ரைடு செராமிக் அடி மூலக்கூறுகளை பெருமளவில் உற்பத்தி செய்யும் திறனைக் கொண்ட நிறுவனங்கள் முக்கியமாக தோஷிபா குரூப், ஹிட்டாச்சி மெட்டல்ஸ், ஜப்பான் எலக்ட்ரிக் கெமிக்கல், ஜப்பான் மருவா மற்றும் ஜப்பான் ஃபைன் செராமிக்ஸ் ஆகும்.

சிலிக்கான் நைட்ரைடு செராமிக் அடி மூலக்கூறு பொருட்கள் மீதான உள்நாட்டு ஆராய்ச்சியும் சில முன்னேற்றம் கண்டுள்ளது. சினோமா ஹைடெக் நைட்ரைடு செராமிக்ஸ் கோ., லிமிடெட்டின் பெய்ஜிங் கிளையின் டேப்-காஸ்டிங் செயல்முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட சிலிக்கான் நைட்ரைடு செராமிக் அடி மூலக்கூறின் வெப்ப கடத்துத்திறன் 100 W/(m·K); பெய்ஜிங் சினோமா ஆர்டிஃபிஷியல் கிரிஸ்டல் ரிசர்ச் இன்ஸ்டிடியூட் கோ., லிமிடெட், 700-800MPa வளைக்கும் வலிமை, எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை ≥8MPa·m1/2, மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ≥80W/(m·K) சிண்டரிங் முறை மற்றும் செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம்.