செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
உயர் தூய்மை டான்டலம் கார்பன் பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் விண்வெளி, இரசாயன, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பிற துறைகளில் சிறப்பு உபகரணங்கள் மற்றும் அமைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை பொதுவாக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் சீல் மற்றும் பரிமாற்றத்திற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குகின்றன, உபகரணங்கள் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தின் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன.
உயர் தூய்மை டான்டலம் கார்பன் பூசப்பட்ட வளையங்களின் பண்புகள் பின்வருமாறு:
1. உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: உயர்-தூய்மை டான்டலம் கார்பன் பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும் மற்றும் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்கும், இது அதிக வெப்பநிலை நிலைகளைத் தாங்கும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
2. அரிப்பு எதிர்ப்பு: டான்டலம் பொருள் நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பில் உருவாகும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேலும் அதிகரிக்கிறது மற்றும் பல்வேறு இரசாயனங்கள் மற்றும் கரைப்பான்களின் அரிப்பை எதிர்க்கும்.
3. எதிர்ப்பை அணியுங்கள்: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, உராய்வு மற்றும் தேய்மான சூழல்களில் நல்ல செயல்திறனைப் பராமரிக்கலாம் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கும்.
4. சிறந்த சீல் செயல்திறன்: உயர்-தூய்மை டான்டலம் கார்பன் பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் நல்ல சீல் செயல்திறன் கொண்டவை, வாயு அல்லது திரவ கசிவை திறம்பட தடுக்கலாம் மற்றும் அதிக சீல் தேவைகள் கொண்ட பயன்பாட்டு காட்சிகளுக்கு ஏற்றது.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
