உயர் தூய்மை SiC கேரியர்/சஸ்செப்டர்

உயர் தூய்மையான SiC கேரியர்/சஸ்செப்டர் சிறப்புப் படம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

சிலிக்கான் கார்பைடு தாங்கி வட்டு SIC தட்டு, சிலிக்கான் கார்பைடு எச்சிங் டிஸ்க், ICP எச்சிங் டிஸ்க் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. எல்இடி எச்சிங்கிற்கான சிலிக்கான் கார்பைடு தட்டு (SiC தட்டு) φ600mm ஆழமான சிலிக்கான் பொறிப்பிற்கான (ICP எச்சிங் மெஷின்) ஒரு சிறப்பு துணை.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

விளக்கம்

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அறை வெப்பநிலையில் சிறந்த இயந்திர பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது அதிக வலிமை, அதிக கடினத்தன்மை, உயர் மீள் மாடுலஸ் போன்றவை செயலாக்க செயல்திறன்.
லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள் போன்ற ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உபகரணங்களுக்கான துல்லியமான பீங்கான் பாகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு அவை குறிப்பாகப் பொருத்தமானவை, முக்கியமாக SiC கேரியர்/சஸ்செப்டர், SiC வேஃபர் படகு, உறிஞ்சும் வட்டு, நீர் குளிரூட்டும் தட்டு, துல்லியமான அளவிடும் பிரதிபலிப்பான், கிராட்டிங் மற்றும் பிற பீங்கான் கட்டமைப்பு பாகங்கள் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.

கேரியர்2

கேரியர்3

கேரியர்4

நன்மைகள்

உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: சாதாரண பயன்பாடு 1800 ℃
உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட் பொருளுக்கு சமம்
அதிக கடினத்தன்மை: கடினத்தன்மை வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக, போரான் நைட்ரைடு
அரிப்பு எதிர்ப்பு: வலுவான அமிலம் மற்றும் காரத்தில் அரிப்பு இல்லை, டங்ஸ்டன் கார்பைடு மற்றும் அலுமினாவை விட அரிப்பு எதிர்ப்பு சிறந்தது
குறைந்த எடை: குறைந்த அடர்த்தி, அலுமினியத்திற்கு அருகில்
சிதைவு இல்லை: வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: இது கூர்மையான வெப்பநிலை மாற்றங்களை தாங்கும், வெப்ப அதிர்ச்சியை எதிர்க்கும் மற்றும் நிலையான செயல்திறன் கொண்டது
sic எச்சிங் கேரியர், ICP எச்சிங் சஸ்செப்டர் போன்ற சிலிக்கான் கார்பைடு கேரியர், செமிகண்டக்டர் CVD, vacuum sputtering போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வெவ்வேறு பயன்பாடுகளைப் பூர்த்தி செய்ய வாடிக்கையாளர்களுக்கு சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களின் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வேஃபர் கேரியர்களை நாங்கள் வழங்க முடியும்.

நன்மைகள்

சொத்து	மதிப்பு	முறை
அடர்த்தி	3.21 கிராம்/சிசி	மூழ்கி மிதவை மற்றும் பரிமாணம்
குறிப்பிட்ட வெப்பம்	0.66 J/g °K	துடிப்புள்ள லேசர் ஃபிளாஷ்
நெகிழ்வு வலிமை	450 MPa560 MPa	4 புள்ளி வளைவு, RT4 புள்ளி வளைவு, 1300°
எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை	2.94 MPa m1/2	மைக்ரோஇன்டென்டேஷன்
கடினத்தன்மை	2800	விக்கர்ஸ், 500 கிராம் சுமை
மீள் மாடுலஸ் யங்கின் மாடுலஸ்	450 GPa430 GPa	4 pt வளைவு, RT4 pt வளைவு, 1300 °C
தானிய அளவு	2 - 10 μm	SEM

நிறுவனத்தின் சுயவிவரம்

WeiTai எனர்ஜி டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி மட்பாண்டங்களின் முன்னணி சப்ளையர் மற்றும் ஒரே நேரத்தில் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் (குறிப்பாக மறுகட்டமைக்கப்பட்ட SiC) மற்றும் CVD SiC பூச்சு ஆகியவற்றை வழங்கக்கூடிய சீனாவின் ஒரே உற்பத்தியாளர். கூடுதலாக, அலுமினா, அலுமினியம் நைட்ரைடு, சிர்கோனியா மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற பீங்கான் துறைகளிலும் எங்கள் நிறுவனம் உறுதிபூண்டுள்ளது.

சிலிக்கான் கார்பைடு எச்சிங் டிஸ்க், சிலிக்கான் கார்பைடு படகு இழுவை, சிலிக்கான் கார்பைடு செமிகண்டக்டர், சிலிக்கான் கார்பைடு உலைக் குழாய், சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு, சிலிக்கான் கார்பைடு சக்ஸ், சிலிக்கான் கார்பைடு பீம் மற்றும் டாசி டிசி ஆகியவை அடங்கும். பூச்சு. செமிகண்டக்டர் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்களில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படும் தயாரிப்புகள், படிக வளர்ச்சிக்கான உபகரணங்கள், எபிடாக்ஸி, எச்சிங், பேக்கேஜிங், பூச்சு மற்றும் பரவல் உலைகள் போன்றவை.
சுமார் (2)