செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மை ஆகியவற்றை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, செமிசெரா தொழில்நுட்பத்தை வென்றதுCVD TaCR&D துறையின் கூட்டு முயற்சிகளுடன். SiC செதில்களின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவது எளிது, ஆனால் பயன்படுத்திய பிறகுTaC, வேறுபாடு குறிப்பிடத்தக்கது. கீழே TaC உடன் மற்றும் இல்லாத செதில்களின் ஒப்பீடு, அத்துடன் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான Simicera' பாகங்கள்
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
கூடுதலாக, செமிசெராவின் TaC பூச்சு தயாரிப்புகளின் சேவை வாழ்க்கை SiC பூச்சுகளை விட நீண்டது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையை எதிர்க்கும். ஆய்வக அளவீட்டுத் தரவுகளின் நீண்ட காலத்திற்குப் பிறகு, எங்கள் TaC அதிகபட்சமாக 2300 டிகிரி செல்சியஸில் நீண்ட நேரம் வேலை செய்ய முடியும். பின்வருபவை எங்களின் சில மாதிரிகள்:
(அ) PVT முறையில் SiC ஒற்றை படிக இங்காட் வளரும் சாதனத்தின் திட்ட வரைபடம் (b) Top TaC பூசப்பட்ட விதை அடைப்புக்குறி (SiC விதை உட்பட) (c) TAC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையம்
