சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அறிமுகம்
எங்கள் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு மிகவும் நீடித்த மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு அடுக்கு ஆகும், இது அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பைக் கோரும் சூழல்களுக்கு ஏற்றது.சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுCVD செயல்முறை மூலம் பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் மெல்லிய அடுக்குகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, சிறந்த செயல்திறன் பண்புகளை வழங்குகிறது.
முக்கிய அம்சங்கள்
● - விதிவிலக்கான தூய்மை: ஒரு தீவிர தூய்மையான கலவை பெருமை99.99995%, எங்கள்SiC பூச்சுஉணர்திறன் குறைக்கடத்தி செயல்பாடுகளில் மாசுபாடு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது.
● -உயர்ந்த எதிர்ப்பு: தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பு ஆகிய இரண்டிற்கும் சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இது சவாலான இரசாயன மற்றும் பிளாஸ்மா அமைப்புகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
● -அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: அதன் சிறந்த வெப்ப பண்புகள் காரணமாக தீவிர வெப்பநிலையின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
● - பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை: அதன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் காரணமாக, பரந்த அளவிலான வெப்பநிலைகளில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.
● - மேம்படுத்தப்பட்ட கடினத்தன்மை: கடினத்தன்மை மதிப்பீட்டுடன்40 GPa, எங்கள் SiC பூச்சு குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தையும் சிராய்ப்பையும் தாங்கும்.
● -மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு: கண்ணாடி போன்ற பூச்சு வழங்குகிறது, துகள் உருவாக்கத்தை குறைக்கிறது மற்றும் செயல்பாட்டு திறனை அதிகரிக்கிறது.
விண்ணப்பங்கள்
செமிசெரா SiC பூச்சுகள்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பல்வேறு நிலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள்:
● -LED சிப் ஃபேப்ரிகேஷன்
● -பாலிசிலிகான் உற்பத்தி
● -செமிகண்டக்டர் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி
● -சிலிக்கான் மற்றும் SiC எபிடாக்ஸி
● -வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் (TO&D)
அதிக வலிமை கொண்ட ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட், கார்பன் ஃபைபர்-வலுவூட்டப்பட்ட கார்பன் மற்றும் 4N மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகியவற்றிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட SiC- பூசப்பட்ட கூறுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம், இது திரவப்படுத்தப்பட்ட படுக்கை உலைகளுக்கு ஏற்றது.STC-TCS மாற்றிகள், CZ யூனிட் பிரதிபலிப்பான்கள், SiC வேஃபர் படகு, SiCwafer துடுப்பு, SiC வேஃபர் குழாய் மற்றும் PECVD, சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் வேஃபர் கேரியர்கள்.
நன்மைகள்
● -நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம்: உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
● - மேம்படுத்தப்பட்ட தரம்செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்திற்குத் தேவையான உயர்-தூய்மை மேற்பரப்புகளை அடைகிறது, இதனால் தயாரிப்பு தரம் அதிகரிக்கிறது.
● -அதிகரித்த செயல்திறன்: வெப்ப மற்றும் CVD செயல்முறைகளை மேம்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக குறுகிய சுழற்சி நேரங்கள் மற்றும் அதிக மகசூல் கிடைக்கும்.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்
● -கட்டமைப்பு: FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111)சார்ந்தவை
● -அடர்த்தி: 3.21 g/cm³
● -கடினத்தன்மை: 2500 விக்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
● - எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை: 3.0 MPa·m1/2
● -வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -எலாஸ்டிக் மாடுலஸ்(1300℃):435 GPa
● -வழக்கமான திரைப்பட தடிமன்:100 μm
● - மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை:2-10 µm
தூய்மை தரவு (பளபளப்பான வெளியேற்ற மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி மூலம் அளவிடப்படுகிறது)
| உறுப்பு | பிபிஎம் | உறுப்பு | பிபிஎம் |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| அல் | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
