செமிசெரா பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை வழங்குகிறது.செமிசெரா முன்னணி பூச்சு செயல்முறை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளை அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன சகிப்புத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது, SIC/GAN படிகங்கள் மற்றும் EPI அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது (கிராஃபைட் பூசப்பட்ட TaC சசெப்டர்), மற்றும் முக்கிய உலை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டித்தல். டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்க்கவும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் ஆகும், மேலும் செமிசெரா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
தனிப்பயனாக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் என்பது வாடிக்கையாளர்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகள் மற்றும் பயன்பாட்டுத் தேவைகளின் அடிப்படையில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் படி தனித்தனியாக வடிவமைக்கப்பட்டு தயாரிக்கப்படும் வளைய தயாரிப்புகள் ஆகும்.
தனிப்பயனாக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட மோதிரங்களின் பொதுவான விளக்கம் பின்வருமாறு:
1. பொருள் தேர்வு: வாடிக்கையாளரின் தேவைக்கேற்ப, உற்பத்தியின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்காக உயர்-தூய்மை டான்டலம் பொருட்கள் அடி மூலக்கூறாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன.
2. அளவு மற்றும் வடிவம்: வாடிக்கையாளரால் வழங்கப்பட்ட தேவைகள் அல்லது வடிவமைப்பு வரைபடங்களின்படி, டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையத்தின் அளவு, விட்டம், தடிமன் மற்றும் வடிவம் ஆகியவை குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுக் காட்சிகள் மற்றும் உபகரணத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்படுகின்றன.
3. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு செயல்முறை: டான்டலம் வளையத்தின் மேற்பரப்பு ஒரு தொழில்முறை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி ஒரு சீரான, அடர்த்தியான மற்றும் நன்கு ஒட்டக்கூடிய டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது.
4. உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு: பூச்சு செயல்முறை மற்றும் அளவுருக்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையம் குறிப்பிட்ட சூழல்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது என்பதை உறுதிப்படுத்தவும்.
5. சீல் செய்யும் செயல்திறன்: வாடிக்கையாளரின் சீல் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையத்தின் சீல் அமைப்பு வடிவமைக்கப்பட்டு உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது.
6. தரக் கட்டுப்பாடு: தனிப்பயனாக்குதல் செயல்பாட்டின் போது, தயாரிப்புகளின் நிலைத்தன்மை, நம்பகத்தன்மை மற்றும் இணக்கத்தை உறுதிப்படுத்த கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் சோதனை மேற்கொள்ளப்படுகிறது.
TaC உடன் மற்றும் இல்லாமல்
TaC ஐப் பயன்படுத்திய பிறகு (வலது)
மேலும், செமிசெராவின்TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள்ஒப்பிடும்போது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறதுSiC பூச்சுகள்.ஆய்வக அளவீடுகள் எங்கள் என்பதை நிரூபித்துள்ளனTaC பூச்சுகள்நீண்ட காலத்திற்கு 2300 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும். எங்கள் மாதிரிகளின் சில எடுத்துக்காட்டுகள் கீழே உள்ளன:
