அணு அடுக்கு படிவு (ALD) என்பது ஒரு இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பமாகும், இது இரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட முன்னோடி மூலக்கூறுகளை மாறி மாறி உட்செலுத்துவதன் மூலம் மெல்லிய படலங்கள் அடுக்காக வளரும். ALD ஆனது உயர் கட்டுப்பாடு மற்றும் சீரான தன்மையின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள், ஆற்றல் சேமிப்பு சாதனங்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படலாம். ALD இன் அடிப்படைக் கொள்கைகளில் முன்னோடி உறிஞ்சுதல், மேற்பரப்பு எதிர்வினை மற்றும் துணை தயாரிப்பு நீக்கம் ஆகியவை அடங்கும், மேலும் ஒரு சுழற்சியில் இந்த படிகளை மீண்டும் செய்வதன் மூலம் பல அடுக்கு பொருட்களை உருவாக்க முடியும். ALD ஆனது உயர் கட்டுப்பாடு, சீரான தன்மை மற்றும் நுண்துளை இல்லாத கட்டமைப்பின் பண்புகள் மற்றும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது பல்வேறு அடி மூலக்கூறு பொருட்கள் மற்றும் பல்வேறு பொருட்களின் படிவுக்காக பயன்படுத்தப்படலாம்.
ALD பின்வரும் பண்புகள் மற்றும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:
1. உயர் கட்டுப்பாடு:ALD ஒரு அடுக்கு-மூலம்-அடுக்கு வளர்ச்சி செயல்முறை என்பதால், ஒவ்வொரு அடுக்கின் தடிமன் மற்றும் கலவையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும்.
2. சீரான தன்மை:ALD ஆனது மற்ற படிவு தொழில்நுட்பங்களில் ஏற்படக்கூடிய சீரற்ற தன்மையைத் தவிர்த்து, முழு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பிலும் ஒரே சீரான முறையில் பொருட்களை டெபாசிட் செய்யலாம்.
3. நுண்துளை இல்லாத அமைப்பு:ALD ஒற்றை அணுக்கள் அல்லது ஒற்றை மூலக்கூறுகளின் அலகுகளில் டெபாசிட் செய்யப்படுவதால், இதன் விளைவாக வரும் படம் பொதுவாக அடர்த்தியான, நுண்துளை இல்லாத அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது.
4. நல்ல கவரேஜ் செயல்திறன்:நானோபோர் வரிசைகள், அதிக போரோசிட்டி பொருட்கள் போன்ற உயர் விகித கட்டமைப்புகளை ALD திறம்பட மறைக்க முடியும்.
5. அளவிடுதல்:உலோகங்கள், குறைக்கடத்திகள், கண்ணாடி போன்ற பல்வேறு அடி மூலக்கூறு பொருட்களுக்கு ALD பயன்படுத்தப்படலாம்.
6. பல்துறை:வெவ்வேறு முன்னோடி மூலக்கூறுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், உலோக ஆக்சைடுகள், சல்பைடுகள், நைட்ரைடுகள் போன்ற பல்வேறு வகையான பொருட்களை ALD செயல்பாட்டில் டெபாசிட் செய்யலாம்.
