செமிசெராபெருமையுடன் அதன் அறிமுகம்4" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள், உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அற்புதமான பொருள். காலியம் ஆக்சைடு (கா2O3) அடி மூலக்கூறுகள் அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட்கேப்பை வழங்குகின்றன, அவை அடுத்த தலைமுறை ஆற்றல் மின்னணுவியல், UV ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் உயர் அதிர்வெண் சாதனங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன.
முக்கிய அம்சங்கள்:
• அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட்கேப்: தி4" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள்ஏறத்தாழ 4.8 eV பேண்ட்கேப்பைப் பெருமைப்படுத்துகிறது, இது விதிவிலக்கான மின்னழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மையை அனுமதிக்கிறது, சிலிக்கான் போன்ற பாரம்பரிய குறைக்கடத்தி பொருட்களைக் கணிசமாக விஞ்சுகிறது.
•உயர் முறிவு மின்னழுத்தம்: இந்த அடி மூலக்கூறுகள் அதிக மின்னழுத்தங்கள் மற்றும் சக்திகளில் சாதனங்களைச் செயல்படச் செய்கின்றன, அவை மின்னழுத்த மின்னழுத்தத்தில் உயர் மின்னழுத்தப் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன.
•உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை: காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகின்றன, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன, தேவைப்படும் சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
•உயர் பொருள் தரம்: குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் உயர் படிக தரத்துடன், இந்த அடி மூலக்கூறுகள் நம்பகமான மற்றும் சீரான செயல்திறனை உறுதிசெய்து, உங்கள் சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நீடித்த தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
•பல்துறை பயன்பாடு: பவர் டிரான்சிஸ்டர்கள், ஷாட்கி டையோட்கள் மற்றும் UV-C LED சாதனங்கள் உட்பட பலவிதமான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது, ஆற்றல் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் துறைகளில் புதுமைகளை செயல்படுத்துகிறது.
Semicera's உடன் குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் எதிர்காலத்தை ஆராயுங்கள்4" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள். இன்றைய அதிநவீன சாதனங்களுக்குத் தேவையான நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை வழங்கும், மிகவும் மேம்பட்ட பயன்பாடுகளை ஆதரிக்கும் வகையில் எங்கள் அடி மூலக்கூறுகள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. உங்கள் செமிகண்டக்டர் பொருட்களில் தரம் மற்றும் புதுமைகளுக்கு செமிசெராவை நம்புங்கள்.
| பொருட்கள் | உற்பத்தி | ஆராய்ச்சி | போலி |
| படிக அளவுருக்கள் | |||
| பாலிடைப் | 4H | ||
| மேற்பரப்பு நோக்குநிலை பிழை | <11-20 >4±0.15° | ||
| மின் அளவுருக்கள் | |||
| டோபண்ட் | n-வகை நைட்ரஜன் | ||
| எதிர்ப்பாற்றல் | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| இயந்திர அளவுருக்கள் | |||
| விட்டம் | 150.0 ± 0.2 மிமீ | ||
| தடிமன் | 350± 25 μm | ||
| முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | [1-100]±5° | ||
| முதன்மை தட்டையான நீளம் | 47.5 ± 1.5 மிமீ | ||
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | இல்லை | ||
| டிடிவி | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| எல்டிவி | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| வில் | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| வார்ப் | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| முன்(Si-Face) கடினத்தன்மை(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| கட்டமைப்பு | |||
| நுண்குழாய் அடர்த்தி | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| உலோக அசுத்தங்கள் | ≤5E10அணுக்கள்/செமீ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| முன் தரம் | |||
| முன் | Si | ||
| மேற்பரப்பு பூச்சு | Si-Face CMP | ||
| துகள்கள் | ≤60ea/வேஃபர் (அளவு≥0.3μm) | NA | |
| கீறல்கள் | ≤5ea/மிமீ. ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ விட்டம் | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA |
| ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/கறைகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள் | இல்லை | NA | |
| விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / முறிவு / ஹெக்ஸ் தட்டுகள் | இல்லை | ||
| பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤20% | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤30% |
| முன் லேசர் குறி | இல்லை | ||
| பின் தரம் | |||
| பின் பூச்சு | சி-முகம் CMP | ||
| கீறல்கள் | ≤5ea/mm, ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA | |
| பின் குறைபாடுகள் (விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்) | இல்லை | ||
| முதுகு முரட்டுத்தனம் | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| பின் லேசர் குறியிடுதல் | 1 மிமீ (மேல் விளிம்பிலிருந்து) | ||
| விளிம்பு | |||
| விளிம்பு | சேம்ஃபர் | ||
| பேக்கேஜிங் | |||
| பேக்கேஜிங் | வெற்றிட பேக்கேஜிங்குடன் எபி-ரெடி மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங் | ||
| *குறிப்புகள்: "NA" என்றால் கோரிக்கை இல்லை என்பது குறிப்பிடப்படாத உருப்படிகள் SEMI-STD ஐக் குறிக்கலாம். | |||
