செமிசெராவழங்குவதில் பெருமை கொள்கிறது30மிமீ அலுமினியம் நைட்ரைடு வேஃபர் அடி மூலக்கூறு, நவீன எலக்ட்ரானிக் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பயன்பாடுகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர்மட்ட பொருள். அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) அடி மூலக்கூறுகள் அவற்றின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் காப்புப் பண்புகளுக்குப் புகழ் பெற்றவை, அவை உயர் செயல்திறன் கொண்ட சாதனங்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.
முக்கிய அம்சங்கள்:
• விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன்: தி30மிமீ அலுமினியம் நைட்ரைடு வேஃபர் அடி மூலக்கூறு170 W/mK வரையிலான வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது மற்ற அடி மூலக்கூறு பொருட்களை விட கணிசமாக அதிகமாக உள்ளது, இது உயர்-சக்தி பயன்பாடுகளில் திறமையான வெப்பச் சிதறலை உறுதி செய்கிறது.
•உயர் மின் காப்பு: சிறந்த மின் இன்சுலேடிங் பண்புகளுடன், இந்த அடி மூலக்கூறு குறுக்கு பேச்சு மற்றும் சமிக்ஞை குறுக்கீட்டைக் குறைக்கிறது, இது RF மற்றும் மைக்ரோவேவ் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
•இயந்திர வலிமை: தி30மிமீ அலுமினியம் நைட்ரைடு வேஃபர் அடி மூலக்கூறுசிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, கடுமையான இயக்க நிலைமைகளின் கீழ் கூட ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
•பல்துறை பயன்பாடுகள்: இந்த அடி மூலக்கூறு உயர்-பவர் எல்இடிகள், லேசர் டையோட்கள் மற்றும் RF கூறுகளில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றது, இது உங்கள் மிகவும் தேவைப்படும் திட்டங்களுக்கு வலுவான மற்றும் நம்பகமான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது.
•துல்லியமான ஃபேப்ரிகேஷன்: செமிசெரா ஒவ்வொரு செதில் அடி மூலக்கூறும் மிகத் துல்லியத்துடன் புனையப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, மேம்பட்ட மின்னணு சாதனங்களின் துல்லியமான தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சீரான தடிமன் மற்றும் மேற்பரப்பு தரத்தை வழங்குகிறது.
செமிசெராவுடன் உங்கள் சாதனங்களின் செயல்திறனையும் நம்பகத்தன்மையையும் அதிகரிக்கவும்30மிமீ அலுமினியம் நைட்ரைடு வேஃபர் அடி மூலக்கூறு. எங்கள் அடி மூலக்கூறுகள் சிறந்த செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, உங்கள் மின்னணு மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் அமைப்புகள் சிறந்த முறையில் செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது. தொழில்துறையை தரம் மற்றும் புதுமையில் வழிநடத்தும் அதிநவீன பொருட்களுக்கான செமிசெராவை நம்புங்கள்.
| பொருட்கள் | உற்பத்தி | ஆராய்ச்சி | போலி |
| படிக அளவுருக்கள் | |||
| பாலிடைப் | 4H | ||
| மேற்பரப்பு நோக்குநிலை பிழை | <11-20 >4±0.15° | ||
| மின் அளவுருக்கள் | |||
| டோபண்ட் | n-வகை நைட்ரஜன் | ||
| எதிர்ப்பாற்றல் | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| இயந்திர அளவுருக்கள் | |||
| விட்டம் | 150.0 ± 0.2 மிமீ | ||
| தடிமன் | 350± 25 μm | ||
| முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | [1-100]±5° | ||
| முதன்மை தட்டையான நீளம் | 47.5 ± 1.5 மிமீ | ||
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | இல்லை | ||
| டிடிவி | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| எல்டிவி | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| வில் | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| வார்ப் | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| முன்(Si-Face) கடினத்தன்மை(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| கட்டமைப்பு | |||
| நுண்குழாய் அடர்த்தி | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| உலோக அசுத்தங்கள் | ≤5E10அணுக்கள்/செமீ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| முன் தரம் | |||
| முன் | Si | ||
| மேற்பரப்பு பூச்சு | Si-Face CMP | ||
| துகள்கள் | ≤60ea/வேஃபர் (அளவு≥0.3μm) | NA | |
| கீறல்கள் | ≤5ea/மிமீ. ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ விட்டம் | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA |
| ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/கறைகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள் | இல்லை | NA | |
| விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / முறிவு / ஹெக்ஸ் தட்டுகள் | இல்லை | ||
| பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤20% | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤30% |
| முன் லேசர் குறி | இல்லை | ||
| பின் தரம் | |||
| பின் பூச்சு | சி-முகம் CMP | ||
| கீறல்கள் | ≤5ea/mm, ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA | |
| பின் குறைபாடுகள் (விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்) | இல்லை | ||
| முதுகு முரட்டுத்தனம் | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| பின் லேசர் குறியிடுதல் | 1 மிமீ (மேல் விளிம்பிலிருந்து) | ||
| விளிம்பு | |||
| விளிம்பு | சேம்ஃபர் | ||
| பேக்கேஜிங் | |||
| பேக்கேஜிங் | வெற்றிட பேக்கேஜிங்குடன் எபி-ரெடி மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங் | ||
| *குறிப்புகள்: "NA" என்றால் கோரிக்கை இல்லை என்பது குறிப்பிடப்படாத உருப்படிகள் SEMI-STD ஐக் குறிக்கலாம். | |||
