செமிசெராவழங்க உற்சாகமாக உள்ளது2" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதிநவீன பொருள். இந்த அடி மூலக்கூறுகள், காலியம் ஆக்சைடிலிருந்து (Ga2O3), அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட்கேப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது உயர்-பவர், உயர்-அதிர்வெண் மற்றும் UV ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
முக்கிய அம்சங்கள்:
• அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட்கேப்: தி2" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள்சிலிக்கான் போன்ற பாரம்பரிய குறைக்கடத்தி பொருட்களின் திறன்களை விட அதிக மின்னழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலை செயல்பாட்டை அனுமதிக்கும், தோராயமாக 4.8 eV இன் சிறந்த பேண்ட்கேப்பை வழங்குகிறது.
•விதிவிலக்கான முறிவு மின்னழுத்தம்: இந்த அடி மூலக்கூறுகள் அதிக மின்னழுத்தங்களைக் கையாள சாதனங்களைச் செயல்படுத்துகின்றன, குறிப்பாக உயர் மின்னழுத்தப் பயன்பாடுகளில் மின்னியல் மின்னழுத்தங்களுக்கு அவை சரியானதாக அமைகின்றன.
•சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: உயர்ந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மையுடன், இந்த அடி மூலக்கூறுகள் தீவிர வெப்ப சூழல்களிலும் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்கின்றன, அதிக சக்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
•உயர்தர பொருள்: தி2" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள்உங்கள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் நம்பகமான மற்றும் திறமையான செயல்திறனை உறுதிசெய்து, குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் உயர் படிக தரத்தை வழங்குகிறது.
•பல்துறை பயன்பாடுகள்: இந்த அடி மூலக்கூறுகள் பவர் டிரான்சிஸ்டர்கள், ஷாட்கி டையோட்கள் மற்றும் UV-C LED சாதனங்கள் உட்பட பலவிதமான பயன்பாடுகளுக்குப் பொருத்தமானவை, இவை ஆற்றல் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் கண்டுபிடிப்புகள் இரண்டிற்கும் வலுவான அடித்தளத்தை வழங்குகின்றன.
Semicera's மூலம் உங்கள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் முழு திறனையும் திறக்கவும்2" காலியம் ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகள். உயர் செயல்திறன், நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதிசெய்து, இன்றைய மேம்பட்ட பயன்பாடுகளின் கோரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் எங்கள் அடி மூலக்கூறுகள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. புதுமையைத் தூண்டும் அதிநவீன குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான செமிசெராவைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.
| பொருட்கள் | உற்பத்தி | ஆராய்ச்சி | போலி |
| படிக அளவுருக்கள் | |||
| பாலிடைப் | 4H | ||
| மேற்பரப்பு நோக்குநிலை பிழை | <11-20 >4±0.15° | ||
| மின் அளவுருக்கள் | |||
| டோபண்ட் | n-வகை நைட்ரஜன் | ||
| எதிர்ப்பாற்றல் | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| இயந்திர அளவுருக்கள் | |||
| விட்டம் | 150.0 ± 0.2 மிமீ | ||
| தடிமன் | 350± 25 μm | ||
| முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | [1-100]±5° | ||
| முதன்மை தட்டையான நீளம் | 47.5 ± 1.5 மிமீ | ||
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | இல்லை | ||
| டிடிவி | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| எல்டிவி | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| வில் | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| வார்ப் | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| முன்(Si-Face) கடினத்தன்மை(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| கட்டமைப்பு | |||
| நுண்குழாய் அடர்த்தி | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| உலோக அசுத்தங்கள் | ≤5E10அணுக்கள்/செமீ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| முன் தரம் | |||
| முன் | Si | ||
| மேற்பரப்பு பூச்சு | Si-Face CMP | ||
| துகள்கள் | ≤60ea/வேஃபர் (அளவு≥0.3μm) | NA | |
| கீறல்கள் | ≤5ea/மிமீ. ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ விட்டம் | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA |
| ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/கறைகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள் | இல்லை | NA | |
| விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / முறிவு / ஹெக்ஸ் தட்டுகள் | இல்லை | ||
| பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤20% | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤30% |
| முன் லேசர் குறி | இல்லை | ||
| பின் தரம் | |||
| பின் பூச்சு | சி-முகம் CMP | ||
| கீறல்கள் | ≤5ea/mm, ஒட்டுமொத்த நீளம்≤2*விட்டம் | NA | |
| பின் குறைபாடுகள் (விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்) | இல்லை | ||
| முதுகு முரட்டுத்தனம் | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| பின் லேசர் குறியிடுதல் | 1 மிமீ (மேல் விளிம்பிலிருந்து) | ||
| விளிம்பு | |||
| விளிம்பு | சேம்ஃபர் | ||
| பேக்கேஜிங் | |||
| பேக்கேஜிங் | வெற்றிட பேக்கேஜிங்குடன் எபி-ரெடி மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங் | ||
| *குறிப்புகள்: "NA" என்றால் கோரிக்கை இல்லை என்பது குறிப்பிடப்படாத உருப்படிகள் SEMI-STD ஐக் குறிக்கலாம். | |||
